3DNano – Traceable three- dimensional nanometrolo gy

Υπεύθυνος Έργου: ΚΩΝΣΤΑΝΤΟΥΔΗΣ ΒΑΣΙΛΕΙΟΣ ΑΠΟ.

Κωδικός: 11991

Ημ. Έναρξης: 1/10/2016

Ημ. Λήξης: 30/09/2019

 

Ο γενικός στόχος του έργου 3DNano είναι να ικανοποιηθούν τρέχουσες και μελλοντικές απαιτήσεις για ιχνηλάσιμη τρισδιάστατη (3D) μετρολογία στην κλίμακα του νανομέτρου με αβεβαιότητες μέτρησης μικρότερες από 1 nm. Για να επιτευχθεί αυτός ο στόχος, το έργο θα διερευνήσει νέους δρόμους ιχνηλασιμότητας, θα αναπτύξει περαιτέρω μικροσκοπικές τεχνικές και υπολογιστικές μεθόδους και θα θεμελιώσει διαδικασίες επικύρωσης τρισδιάστατων νανομετρήσεων. Επιπλέον, στα πλαίσια του έργου θα κατασκευαστούν νέα πρότυπα βαθμονόμησης τα οποία θα είναι διαθέσιμα στη βιομηχανία ως ιχνηλάσιμα πρότυπα αναφοράς για την έγκυρη σύγκριση των μετρήσεων ώστε να δημιουργηθεί μία ισχυρή βάση για το σχεδιασμό δομών με ιχνηλάσιμες διαστάσεις και ανοχές στη νανοκλίμακα.